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LS-T4051FX 中央精機(jī)CHUO 株式會(huì)社SEIKI平臺(tái) 仕様 移動(dòng)方向ステージ面クランプ方式操作部取付位置移動(dòng)機(jī)構(gòu)/送り方式移動(dòng)量移動(dòng)量/ツマミ１回転?zāi)苛扛卸纫苿?dòng)ガイド移動(dòng)精度HV移動(dòng)精度YPモーメント剛性平行度運(yùn)動(dòng)の平行度耐荷重質(zhì)量主要材質(zhì)/表面処理

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中央精機(jī)CHUO 線性馬達(dá) AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15 應(yīng)用 電子、半導(dǎo)體制造裝置（EB裝置等） 新一代半導(dǎo)體設(shè)備的研究開發(fā) 其他納米科技研究

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